1. 射频电源功率
检查射频电源是否输出正常，入射功率和反射功率比较。如果入射正常，反射很大，检查匹配器是否工作？
如果入射功率不能达到设定功率，过小，检查射频电源是否烧毁。
若射频电源和匹配都工作，将气体流量加大，中和器打开，再测
2. 射频电源功率模组
射频电源(RFgenerator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格，输出功率从几十瓦到几十千瓦，输出阻抗一般是50欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。射频电源可以用于加热，一般用射频电源进行感应加热需要以下装置：射频电源、匹配器、感应线圈和加热容器射频电源根据需要的频率和功率而定，感应线圈一般由镀银铜管制成，绕在加热容器外，匹配器将射频电源的50欧输出阻抗和感应线圈的阻抗向匹配。
3. 射频电源功率计算
功率的计算公式分两种: 1 .电功率计算公式: P=W/t =UI,根据欧姆定律U=IR代入P=UI中还可以得到: P=I*IR=(U*U)/R; 2.在动力学中:功率计算公式: P=W/t(平均功率);P=Fvcosa(瞬时功率)。
功率是指物体在单位时间内所做的功的多少，即功率是描述做功快慢的物理量。功的数量一定，时间越短，功率值就越大。求功率的公式为功率=功/时间。功率表征作功快慢程度的物理量。单位时间内所作的功称为功率，用P表示。故功率等于作用力与物体受力点速度的标量积。
功率包括电功率、机械功率。电功率又包括直流电功率、交流电功率和射频功率；交流功率又包括正弦电路功率和非正弦电路功率；机械功率又包括线位移功率和角位移功率，角位移功率常见于电机输出功率；电功率还可分为瞬时功率、平均功率（有功功率）、无功功率、视在功率。在电学中，不加特殊声明时，功率均指有功功率。在非正弦电路中，无功功率又可分为位移无功功率，畸变无功功率，两者的方和根称为广义无功功率。
各种称谓:
1.功率就是表示物体做功快慢的物理量，物理学里功率P=功J/时间t，单位是瓦w，我们在媒体上常常看见的功率单位有kW、Ps、hp、bhp、whpmw等，还有意大利以前用的cv，在这里边千瓦kW是国际标准单位，1kW=1000W。
2.在汽车上边，最大的做功机器就是引擎，引擎的功率是由扭矩计算出来的，而计算的公式相当简单：功率(w)=2π×扭矩(Nm)×转速(rpm)/60，简化计算后成为：功率（W）=扭矩（Nm）×转速（rpm）/9.549。
4. 射频电源功率达不到设定
一般修改射频增益。 修改基带增益会影响基带框输入到射频框的信号功率大小，也就是信号在基带框中功率就发生改变了，长时间会影响设备性能。 修改射频增益是调整的射频模块的功率，也就是放大器的输出功率会变化，对射频板其他器件没太大影响。
5. 射频电源功率检测
射频信号是矢量信号，正向即为向前的发出的信号，即为有用的信号，反向功率即为反射回来的功率，一般会被接头、线路或管子吸收
6. 射频电源功率越调越大
射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压，频率在射频范围（约3KHz～300GHz）内、具有一定功率的电源。
射频电源已广泛应用于半导体工艺设备；LED与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生；射频感应加热；医疗美容；常压等离子体消毒清洗等。
直流电源有正、负两个电极，正极的电位高，负极的电位低，当两个电极与电路连通后，能够使电路两端之间维持恒定的电位差，从而在外电路中形成由正极到负极的电流。直流电源是一种能量转换装置，它把其他形式的能量转换为电能供给电路，以维持电流的稳恒流动。
7. 射频电源功率相位检测模块
相位是从时域上对一个交流信号进行描述，一般在射频领域的描述是以180度为界，包括正负。
相位超前：是指这个信号在某个时间点相对参考信号而言提前到达，但是从频域分析的仪表上，是无法看出该效果的，因为做了一个傅里叶的变换，在频域上是个连续存在的。
相位滞后：是指输出正弦波与输入正弦波信号相位差值。
8. 射频电源功率管
是射频输入的旁路输出，可以插接在电视机上，使得电视机仍然能接受来自有线电视网络的模拟信号。射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格，输出功率从几十瓦到几十千瓦，输出阻抗一般是50欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。射频电源可以用于加热，一般用射频电源进行感应加热需要以下装置：射频电源、匹配器、感应线圈和加热容器射频电源根据需要的频率和功率而定，感应线圈一般由镀银铜管制成，绕在加热容器外，匹配器将射频电源的50欧输出阻抗和感应线圈的阻抗向匹配。